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发布时间:2022-07-25 19:57:19
无尘车间洁净度测试标准
送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。
各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:
(1)各区间的压差正确;
(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
电子厂无尘车间规定
1、电子厂净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,
否则就是局部单向流了。
2、电子厂净化车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区。
之间的静压差不应小于5Pa。
3、电子厂净化车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:
(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
(2)保证供给电子厂净化车间内每人每小时的新鲜空气不小于40m3。
(3)电子厂净化车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应
无尘车间静电的危害
静电放电
(1)元器件的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间熔断。
若***带上10KV(100PF)的静电荷,触摸器件脚时发生ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100s),不要说高密度,细线径,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都会遭受损坏。
一般说器件绝缘栅SiO2薄膜的耐压场强是E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其器件输入脚施加50V-100V以上的静电压就将会被击穿,而***带静电超过50V、100V是极平常的。
(2)造成噪声、发射电磁波干扰!
ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖,信号强,相当于电路中几伏的能量,频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声,可能引起元器件损坏,设备和传感器不正常工作,甚至引起设备死机。
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